日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR510
                雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
低溫等離子·經(jīng)典桶型
大口徑(Φ215mm)石英反應腔。
小型一體化設計。
操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)。
| 屬性 | 參數(shù) | 
| 型號 | PR510 | 
| 模式 | DP模式,桶型 | 
| 高頻輸出功率 | Max500W | 
| 頻率 | 13.56MHz | 
| 回調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | 
| 反應腔 | 石英①215 x305mm | 
| 反應氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) | 
| 控制 | 觸摸屏自動控制 | 
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | 
| 外形尺寸 | 參照規(guī)格書 | 
| 重量 | 參照規(guī)格書 | 
| 電源 | 三相AC200V8A | 
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